MX12R Semiconductor Inspection Microscope

Introduction TO MX12R Semiconductor FPD Inspection Microscope

Equipped with varisized wafer holders(including 4/6/8/12 inches), MX12R is professionally applied for wafer and flatpanel display detection, maximally supports for dia. 300mm of wafer and 17inches of FPD. More comfortable, flexible and quicker operation is availablewith upgraded ergonomics design.

a.Tilting viewing head

0~35 degreetilting viewing head for adjusting the height of eye point, provides the bestviewing angle to different users, relieving the fatigue from long-timeoperation and significantly improving the work efficiency.
b.Convenient and stable stage
Stage Clutch driven system, button up for quick movement and press down tocancel, is available to allay fatigue from long-time operation. Stage withlinear guide rail, is realizable to be lightly and smoothly moved.

c.Safe and highspeed electric nosepiece

With forward andbackward two buttons for switch, is quick to convert magnification and accurateto repeat orientation.Mechanical switch mode, effectively prolongs the servicelife of nosepiece.

d.Front operatingbuttons

MX12R adopts electriccontrol for nosepiece and aperture diaphragm, with control buttons in front, iseasy and convenient for operation, improve the working efficiency.
e.Shockproofframe

With six levelingfeet, MX12R metal frame is low-centered and highsteady, anti-knock to ensureimage stabilization.

f.realizesan automatic future

Supporting for brightfield, dark field, polarizing and DIC, MX12R is widely applied for inspectionsof semiconductor, FPD, circuit package, PCB, materials, casting metal ceramicpart, abrasive tools and so on.

Send Inquiry
Description

Description

Technical Specifications

Optical System Infinity color  corrected optical system
Observation Bright filed /  Dark field / Polarizing / DIC
Viewing Head Tilting  trinocular head (Erect image), 0-35 degree adjustable, interpupillary  distance: 50-76mm, splitting ratio: 100:0 or 0:100 Eyepiece
Eyepiece High eye point  wide field plan eyepiece PL10X/25mm, with adjustable diopter; reticle  attachable
Objective BD semi-APO  DIC objective 5X/10X/20X/50X/100X
Long working  distance BD semi-APO DIC objective 20X
Long working  distance BD semi-APO objective 50X/100X
Nosepiece Electronic BD  sextuple nosepiece with DIC slot
Frame Reflected  frame with low position coaxial focus mechanism, coarse range: 35mm, fine  precision: 0.001mm. With upper limit  and tension adjustment. Built-in 100-240V  wide voltage system
Transmitted  & Reflected frame with low position coaxial focus mechanism, coarse  range: 35mm, fine precision: 0.001mm. With upper limit and tension  adjustment. Built-in 100-240V wide voltage system
Stage 14 X 12 inches  three-layer mechanical stage with low position coaxial adjustment, size:  718mm X 420mm, moving range:356mm X 305mm; with clutch handle for quick  movement; glass plate for reflected use.
495mm X 641mm  electronic stage, moving range: 306mm X 306mm; (3+L/50) μm repeated  positioning accuracy
Illumination BD reflected  illuminator, with electronic variable aperture and field diaphragm, center  adjustable; with switch for changing bright and dark field; with slots for  filters and polarizing kit
Camera Adapter 0.5X / 0.65X  1X C-mount adapte
Others Polarizing  kit; interference filters; high precision micrometer; DIC attachment